旋片式真空泵，轉(zhuǎn)子以一定的偏心距裝在泵殼內(nèi)并與泵殼內(nèi)表面的固定面靠近，在轉(zhuǎn)子槽內(nèi)裝有兩個(或兩個以上)旋片，當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時旋片能沿其徑向槽往復(fù)滑動且與泵殼內(nèi)壁始終接觸，此旋片隨轉(zhuǎn)子一起旋轉(zhuǎn)，可將泵腔分成幾個可變?nèi)莘e。

旋片式真空泵屬于低真空泵。它可以單獨使用，也可以作為其他高真空泵或高真空泵的前級泵。旋片泵多為中小型泵，產(chǎn)品已經(jīng)系列化。旋片泵有單級和雙級兩種，一般多做成雙級的，以獲得較高的真空度。旋片泵絕大多數(shù)是單工作腔結(jié)構(gòu)，常用兩個徑向滑片，也有用三個斜置滑片的。貫穿滑片真空泵也有應(yīng)用。

旋片真空泵是一種油封旋轉(zhuǎn)抽氣機，又叫蓋德泵，主要由定子，轉(zhuǎn)子及滑片等組成。轉(zhuǎn)子偏心裝在定子中，并與定子內(nèi)壁頂點相切。轉(zhuǎn)子上裝有兩個能滑動的滑片，靠彈簧和轉(zhuǎn)動時離心力的作用而緊緊貼在定子壁上。轉(zhuǎn)子和滑片將定子分成吸氣腔、貯氣腔和排氣腔。由于轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動帶動滑片使吸氣腔不斷擴大而吸氣.而排氣腔中氣體逐漸被壓縮，直到其中壓力過大氣壓時，排氣閥片被打開，氣體被排到大氣中去。

為防止排出氣體返流泵內(nèi)，特將排氣閥用油覆蓋密封。真空泵油對定子、轉(zhuǎn)子與滑片之間除潤滑作用外，也還有密封作用，另外，泵油充滿泵腔內(nèi)一切有害空間，消除它們對極限真空的影響。

普通旋片真空泵，多用于抽除純凈干燥氣體，若抽除含有大量凝聚氣的氣體，則需選用旋片氣鎮(zhèn)(閥)真空泵。有氣鎮(zhèn)閥安裝于“貯氣腔”，它會開啟吸入一定數(shù)量的空氣，其分壓過抽氣空腔中水蒸氣壓力的幾倍，到排氣腔時，水蒸氣的分壓還低于飽和蒸氣壓，故不會凝結(jié)成液體水滴，而保持氣態(tài)與空氣一起排出泵外。

旋片式真空泵可作獨立獲得低真空的設(shè)備，極限真空約為6.7x10-1Pa，廣泛應(yīng)用于真空冶金、真空運輸、真空澆鑄、醫(yī)療器械、冷凍干燥、真空浸漬、真空熱處理等行業(yè)。旋片式真空泵也可以作為高真空泵的前級泵和預(yù)抽泵，如作為油擴散泵、羅茨泵、油蒸氣噴射泵、渦輪分子泵的前級泵、濺射離子泵的預(yù)抽泵。還可構(gòu)成抽氣機組，用于國民經(jīng)濟(jì)各個領(lǐng)域。